BIETE: Dreidimensionaler Mikrotaster (Patent)

Angebot: Patent
Mess- und Regeltechnik / Physikalische Technik / Sensorik und Messgeräte

Bisherige Mikrotaster, die auf Basis von Silizium-Membranen entwickelt wurden, weisen ein unerwünscht anisotropes mechanisches Verhalten auf und besitzen nur einen begrenzten Auslenkungsbereich von ungefähr ±100 Mikrometer. Gegenstand der neuen Technologie ist ein Mikrotaster, der eine hochgenaue Erfassung von Koordinaten im dreidimensionalen Raum ermöglicht und gleichzeitig robust ist. Vorteile: Vollständige und hochgenaue Erfassung von 3D-Mikrostrukturen Isotropes mechanisches Verhalten Hohe Belastbarkeit und Bruchsicherheit