BIETE: Lichterzeugung: Kontakte auf Nanosäulen

Angebot: Patent
Elektronik und Elektrotechnik / Halbleiter

Auf dem Gebiet der Lichterzeugung stellen Halbleiter-Nanosäulen eine neue Entwicklung da. Diese benötigen elektrische Kontakte auf deren Spitzen. Eine Strukturierung von diesen Kontakten ist für die herkömmlichen Verfahren der Halbleitertechnologie unzugänglich. Dieses Problem kann mit dieser neuen Technologie gelöst werden.
Die Erfindung ermöglicht lokale Kontaktierungen der Nanosäulen. Das Kontaktmaterial ist selektiv an den Enden der Nanosäulen angebracht. Eine Metallisierung der Seiten-wände findet nicht statt. Der Prozessablauf basiert auf einer Folientransfermethode, s. Abb. 1. Abb. 2 zeigt Silizium-Säulen mit Metallkappen.