BIETE: Verbesserung des Breitband-Rastermikroskops

Der Einsatzbereich der Erfindung liegt in der Messtechnik, insbesondere der Qualitätskontrolle von Computerchips nach der Produktion. Es handelt sich um einen abbildenden Mikrowellen-Prober zur dreidimensionalen Untersuchung von integrierten mikroelektronischen Schaltungen.